近日，恒益公司成功利用2011年11月引進(jìn)的數(shù)控小工具拋光機(jī)床設(shè)備，完成了600mm干涉儀標(biāo)準(zhǔn)鏡的精密拋光，實(shí)現(xiàn)了反射表面精度優(yōu)于PV λ/10（λ=0.6328nm）的高精度加工。這標(biāo)志著恒益公司光學(xué)加工具備了利用數(shù)控拋光技術(shù)加工高精度平面光學(xué)元件的技術(shù)能力，在冷加工傳統(tǒng)拋光工藝的基礎(chǔ)上取得了突破性進(jìn)展。

     為在傳統(tǒng)光學(xué)冷加工的基礎(chǔ)上提升光學(xué)精密加工能力，滿足上海光機(jī)所在重大科研工程中大口徑光學(xué)元件的超精密加工需求，恒益公司于2011年11月份引進(jìn)了國(guó)防科技大學(xué)的數(shù)控小工具拋光機(jī)床。該機(jī)床采用計(jì)算機(jī)控制光學(xué)表面成形技術(shù)（Computer Controlled Optical Surfacing , CCOS）對(duì)光學(xué)材料進(jìn)行確定性去除拋光，具有比傳統(tǒng)拋光工藝更高的切削效率，且可以解決傳統(tǒng)拋光很難去除的局部面形誤差，有效提高元件拋光面形的精度指標(biāo)，是一種高精度且高效的新型加工工藝。

     該數(shù)控小工具拋光機(jī)床是恒益公司引進(jìn)的第一臺(tái)數(shù)控光學(xué)鏡面加工設(shè)備。在引進(jìn)數(shù)控小工具拋光機(jī)床后，恒益公司組織了一支青年隊(duì)伍積極開展新設(shè)備和新工藝的研究和試生產(chǎn)。設(shè)備于2011年11月份進(jìn)場(chǎng)，12月份調(diào)試完畢，之后開展了大量的工藝實(shí)驗(yàn)，在較短的時(shí)間內(nèi)掌握了數(shù)控小工具拋光機(jī)床的工藝技術(shù)，成功地將一塊600mm口徑的熔石英玻璃拋光到表面PV 0.098λ（波前梯度GRMS 0.0054λ/cm），將一塊600mm口徑的微晶玻璃拋光到表面PV 0.105λ（波前梯度GRMS0.0049λ/cm），基本達(dá)到了進(jìn)口ZYGO24吋平面干涉儀標(biāo)準(zhǔn)鏡的最高精度。

     基于在大鏡面?zhèn)鹘y(tǒng)光學(xué)冷加工方面的技術(shù)優(yōu)勢(shì)，恒益公司順利完成了前期神光裝置所需的大量的平面、球面和非球面鏡光學(xué)加工。本次數(shù)控小工具拋光機(jī)床設(shè)備的引進(jìn)及計(jì)算機(jī)數(shù)控光學(xué)表面成型技術(shù)的掌握，進(jìn)一步提高了恒益公司為重大科研工程提供大口徑光學(xué)元件超精密加工的技術(shù)能力。