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光刻技術(shù)首次繪出銀納米結(jié)構(gòu)

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 德國柏林亥爾姆茨材料和能源研究中心與聯(lián)邦材料測試與研究機(jī)構(gòu)合作,首次在銀材料底層上完成光刻納米結(jié)構(gòu),為未來光計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)處理、新型電子器件制造開辟了新的途徑。這項(xiàng)成果刊登在美國化學(xué)學(xué)會(huì)的《應(yīng)用材料和界面》雜志上。   要想在材料表面獲得精細(xì)結(jié)構(gòu)圖樣,最佳選擇是采用電子顯微鏡掃描技術(shù),利用電子束在其表面進(jìn)行復(fù)雜的光刻。這項(xiàng)技術(shù)已應(yīng)用在鉑、金、銅等許多金屬材料納米結(jié)構(gòu)制作上,但還沒有成功應(yīng)用于銀材料。銀在電子工業(yè)領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用前景。     此次,研究小組成功地利用光刻技術(shù)在銀材料上制作[登陸后可查看全文]
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