1  引言   太陽能作為綠色清潔能源有著廣泛的應(yīng)用前景和發(fā)展?jié)摿�。目前國�?nèi)太陽能行業(yè)正在蓬勃發(fā)展，主要以單晶硅，多晶硅，和非晶硅產(chǎn)品為主。其中非晶硅產(chǎn)品以價格低廉，污染小，制造成本低等優(yōu)點受到廣泛關(guān)注。對非晶硅太陽能電池的制造設(shè)備的需求也在不斷增加。包括等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備(PECVD)和物理氣相沉積設(shè)備(PVD)下文稱PVD等主要設(shè)備。本文提供了用西門子的S7-300和WINCC作為PVD控制系統(tǒng)的方案。   WinCC即Windows Control Center(視窗控制中心)，是一個功能強大的全面開放的上位機監(jiān)控系統(tǒng)，既可以用于[登陸后可查看全文]