Ezi-Servo是采取光學(xué)編碼器的反饋，并采用步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，使其可以在低速之下?lián)碛懈呔龋⒈Ｓ胁竭M(jìn)的高扭力，更適用于如量測(cè)儀器、光學(xué)、傳輸帶、機(jī)械手臂等剛性較低的機(jī)構(gòu)上。由于擁有步進(jìn)停下時(shí)最大的保持力矩，到位時(shí)不抖動(dòng)，與伺服相較起來(lái)亦有快速的穩(wěn)定性，避免整定晃動(dòng)的問(wèn)題。
目前Ezi-Servo已成功使用在TFT八代廠注膠、框膠與點(diǎn)膠等設(shè)備中。在取放晶圓的機(jī)械手臂應(yīng)用中(直接驅(qū)動(dòng)，不像一般伺服電機(jī)須加裝諧和式減速機(jī))，大幅節(jié)省成本并提高效能，在市場(chǎng)上可取代大部份伺服及步進(jìn)電機(jī)，性價(jià)比極高進(jìn)而
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