2011年7月12日 - Heason Technology為其FB系列緊湊型納米級(jí)定位裝置增加了一個(gè)Z-wedge垂直平臺(tái)。垂直平臺(tái)補(bǔ)充了一個(gè)模塊化、緊湊型的系列線性、旋轉(zhuǎn)和測(cè)角平臺(tái)，提供在全6自由度上的多軸和納米量級(jí)移位。
FBZ075-10具有典型的上部和下部楔形設(shè)計(jì)，采用精密級(jí)交叉滾子軸承布局，保持良好的平臺(tái)剛度，一臺(tái)側(cè)面安裝的陶瓷電機(jī)通過陶瓷帶驅(qū)動(dòng)底部的楔塊。一個(gè)可選解析度為5-100納米的線性編碼器被直接安裝在垂直移位原件上，以消除潛在的楔角誤差�？梢匀菀椎膹母鱾�(gè)面完全接觸移動(dòng)頂板，測(cè)量范圍75mm x 75mm，最大高度為48mm。緊湊的FBZ平臺(tái)的垂直行程為10mm，承載能力為2kg。
FB系列采用Nanomotion的HR系列強(qiáng)力陶瓷電機(jī)，提供很寬的動(dòng)態(tài)速度范圍，從每秒幾微米到高達(dá)每秒250mm - 具有非常高的加速度特性。該技術(shù)以要求超高精度的應(yīng)用為目標(biāo)，如半導(dǎo)體、生物醫(yī)藥和光電機(jī)械系統(tǒng)，因而沒有內(nèi)在的磁場(chǎng)或移動(dòng)部件，非常適合于超潔凈真空環(huán)境。 陶瓷電機(jī)技術(shù)本質(zhì)上具有內(nèi)置的制動(dòng)和保持能力，對(duì)于即需要快速建立時(shí)間也需要最佳位置穩(wěn)定的高剛度運(yùn)動(dòng)控制來(lái)說(shuō)是一個(gè)很好的選擇。
共0條 [查看全部] 網(wǎng)友評(píng)論